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关于举办 “微机电系统(MEMS)高级研修班” 的通知

各有关单位:

为进一步提高从事微机电系统技术人才队伍的理论水平和研究能力,由中国科学院人事局资助,中国科学院微电子研究所物联网中心主办的“微机电系统(MEMS)高级研修班”将于2016年10月27日- 2016年10月30日在无锡举行。现将有关培训事宜通知如下:

  一、主要培训内容

  课程一:MEMS原理及器件设计

课程时间

授课内容

10月28日上午

(0.5天)

讲师: 东南大学 周再发 教授

本课程主要讲解MEMS原理、设计和分析等知识,内容包括MEMS基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及典型MEMS软件及仿真技术。

课程目录:

1. MEMS产业概况

2. MEMS基础原理

3. MEMS设计方法

4. MEMS设计与工艺

5. MEMS仿真技术

  课程二:MEMS制造工艺

课程时间

授课内容

10月28日下午

(0.5天)

讲师:中科院上海微系统与信息技术研究所 戈肖鸿 研究员

本课程主要讲解CMOS和MEMS制造工艺,其中MEMS制造工艺包括体微加工技术、表面微加工技术和CMOS MEMS技术,以及全球主要MEMS代工厂和中国科研机构MEMS工艺线。

课程目录:

1. CMOS制造工艺

2. MEMS制造工艺

3. 全球主要MEMS代工厂

4. 中国科研机构MEMS工艺线

5. 上海微系统所工艺能力介绍

  课程三:MEMS封装和测试

课程时间

授课内容

10月29日上午

(0.5天)

讲师:中科院上海微系统与信息技术研究所 罗乐 研究员

本课程主要讲解MEMS封装、测试、可靠性及失效分析,并指出传统IC封装与MEMS封装的异同点,以及先进封装技术,如晶圆级封装。同时,本课程也会介绍全球主要封装和测试厂商。

课程目录:

1. MEMS封装

2. MEMS测试

3. MEMS可靠性及失效分析

4. 全球主要封装和测试厂商

5. 上海微系统所封装和测试能力介绍

  课程四:典型MEMS器件及应用

课程时间

授课内容

10月29日下午

10月30日上午

(1天)

讲师:

中科院上海微系统与信息技术研究所 车录锋 研究员

中科院上海微系统与信息技术研究所 李铁 研究员

中科院上海微系统与信息技术研究所 徐德辉 副研究员

本课程主要讲解典型MEMS器件原理及技术,包括射频MEMS、红外传感器、惯性传感器、MEMS麦克风、压力传感器、气体传感器。同时,本课程以智能可穿戴设备为例,介绍MEMS器件应用现状。

课程目录:

1. 射频MEMS

2. 红外传感器

3. 惯性传感器

4. MEMS麦克风

5. 压力传感器

6. 气体传感器

7. MEMS应用:智能可穿戴设备

  课程五:压力传感器信号调理及实战

课程时间

授课内容

10月30日下午

(0.5天)

苏州纳芯微电子股份有限公司 CTO 盛云

本课程主要讲解压力传感器信号调理的基本原理和技术演进、典型压力传感器ASIC产品及应用,以及压力传感器校准与测试技术。同时,本课程结合纳芯微电子的ASIC开发板进行实战体验。

课程目录:

1. 压力传感器信号调理的原理

2. 压力传感器信号调理技术路线及演进

3. 典型压力传感器ASIC产品及应用

4. 压力传感器校准与测试

5. 压力传感器ASIC应用实战

  二、参加培训人员范围

  从事微机电系统研究的工程技术人员、科研工作者以及研究生; 高等院校学生和老师、企业技术人员和高级管理人员; 其它希望了解MEMS技术和产业的非MEMS背景人员,如销售和市场人员、投融资机构人员、政府管理人员等。

  三、培训事项

  1.   培训时间:2016年 10 月 27 日 – 2016年10月30日, 共计4天。

  日程安排:

  10月27日下午15:00-17:00报到;

  10月28日至10月30日上课时间: 上午:8:30-12:00, 下午:14:00-17:30

  返程

  1.   培训地点: 中国科学院物联网研究发展中心

  地址: 无锡市菱湖大道200号C座2楼205会议室

  3.     相关费用:

    1)  此次培训不收取培训费。

    2)  食宿及交通费用由学员自理。其中:会务组统一安排食宿及无锡市内交通(酒店—会议室)费用为1350元/人

    3)  汇款信息:

         单位名称: 无锡中科智库物联网技术研究院有限公司

         账号: 1103 0322 1900 0005 352

         开户行: 工商银行无锡新安支行

  四、报名事项

  1.报名截止时间:2016年 10 月 24 日

  2.请于报名截止前将报名回执表(见附件)发送到联系人电子邮箱。由于培训涉及实际操作,为保证培训效果,学员名额有限,组办方将根据报名先后顺序确定参训人员。

  五、联系方式及地址、交通

  联系人:廖老师、王老师

  电 话:0510-81817231、 18662524241、13962307743

  E-mail: liaojuhua@ciotc.org

  酒店名称:无锡协信维嘉酒店

  地址:无锡市新区星光商业中心1 号(和凤路19 号)

  乘车路线: (从机场、火车站)

  乘飞机到达:

  方案一:步行至无锡机场站,乘坐机场1 号线,在高浪路(机场路)站下车,步行至机场

  路(高浪路)站,乘坐756 路公交,在新区科技商务中心站下车,步行(约500 米)至协信维嘉酒店。(全程约15 公里,用时约90 分钟)

  方案二:打车至协信维嘉酒店(全程约15 公里,费用为30 元左右)

  乘火车到达

  无锡站:

  方案一: 乘坐760 路公交,在净慧东道(汇融广场)站下车,步行(约50 米)至协信维嘉酒店。(全程约22 公里,用时约90 分钟)

  方案二:打车至协信维嘉酒店(全程约22 公里,费用为50 元左右)

  无锡东站(京沪高铁):

  方案一:出站后按提示步行至地铁2 号线(梅园开原寺方向),在东亭站下车,步行至宝城花园站(约600 米),乘坐769 路公交,在和风路(汇融广场)站下车,步行(约200 米)至协信维嘉酒店。(全程约30 公里,用时约100 分钟)

  方案二:打车至协信维嘉酒店(全程约30 公里,费用为60 元左右)

  无锡新区站

  方案一:出站后按提示步行至高铁无锡新区站,乘坐769 路公交,和风路(汇融广场)站

  下车,步行(约200 米)至协信维嘉酒店。(全程约4 公里,用时约30 分钟)

  方案二:打车至协信维嘉酒店(全程约4 公里,费用为15 元左右)

 
 
 
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